📖 Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов

Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудовани…Полное описание