📖 Основы автоматизации техпроцессов: учебное пособие
Учебное пособие посвящено рассмотрению вопросов автоматизации технологических процессов производства изделий микроэлектроники. Авторы сочли целесообразным отразить такие вопросы, как основные технологические процессы обрабатывающей фазы производства изделий ми…Полное описание
О книге
автор, издательство, серия- Издательство
- Высшее образование
- Серия
- Основы наук
- ISBN
- 978-5-9692-0251-1
- Год
- 2009