📖 Введение в технологию материалов микроэлектроники. Часть 3. Эпитаксиальный рост. Учебник для вузов
Представлены основные виды эпитаксиальных технологий. Рассмотрено конструктивное оформление и основные параметры наиболее распространенных видов эпитаксиального роста. Сформулированы требования к эпитаксиальным подложкам и описаны основные этапы их подготовки …Полное описание
О книге
автор, издательство, серия- Издательство
- Лань
- Серия
- Радиоэлектроника и приборостроение
- ISBN
- 978-5-507-45481-5
- Год
- 2023